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无氧充氮高温箱
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无氧化精密高温箱

文章来源: 发布时间:2019-05-10 08:54:57 浏览次数:810



设备名称:无氧化精密高温箱

型号:LS-OPH-250


适用范围:

该产品适用于半导体芯片年,在无氧条件下向工作室充入惰性气体-氮气对物品进行干燥、加热处理等试验,特别对一些成分复杂的物品能进行快速干燥。

技术参数:

内部尺寸:(安徽快3W)65 X (D)60 X (H)65 cm  (两箱式)

外形尺寸: (W)134 X (D)104 X (H)198 cm

温度范围:RT+10℃~250℃;

升温速率:室温升至175℃≤30分钟

室温升至安徽快3200℃≤40分钟 (空炉测试);

降温速率:175℃降温至80℃≤30分钟(空炉测试);

含氧量:可达200PPM以下,氮气不充时会发出警报。

设备安装条件

1.电源:AC 380V   3φ  50HZ  9KVA(每箱) 电源线长5m,

2。压缩空气:1/2”冷空气入口,气源压力大于5 kgf/cm² ,配置Ⅱ级空气过滤器,过滤精度为5μm。

3.氮气:1/2”冷空气入口,气源压力大于5 kgf/cm²,纯度99.99%,配置Ⅱ级空气过滤器,过滤精度为5μm。

4.冷却水:≥10MΩ纯水,水温15℃左右,水流量25L/MIN,水压力4~6KG

5。排风:强排:1个,流量:500L/min,管径: 100mm。

6.接地:外壳保护接地电阻≤1Ω


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